Физические проблемы катодного распыления

Обзор. ИАЭ им. И. В. Курчатова.1979. 90с.
В обзорной лекции, прочитанной в Национальной школе Болгарии "Вакуумные, электронные и ионные технологии" для молодых научных работников и специалистов в г. Приморско 16 мая 1 9 7 6 г., показано значение процесса распыления веществ атомными частицами в науке, технике, технологии и природе. Названы основные фундаментальные проблемы физики катодного распыления. Рассмотрены проблема первой стенки термоядерного реактора токамака и проблема экспериментального и теоретического изучения закономерностей изменения величины коэффициента распыления от наиболее важных параметров процесса распыления. Указаны направления и вопросы первоочередных исследований распыления веществ нонами.
© Институт атомной энергии им. И. Э. Курчатова.